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光刻機專用UV-LED光源
① 曝光面積: 4'', 6'', 8''
② 波段: 365nm, 385nm, 395nm, 405nm
單波段和雙波段耦合
③ 有效工作面積:
4'': 110*110mm
6'': 160*160mm
8'': 200*200mm
④ 不均勻性: ≤4% （max-min）/ (max+min) *100%
⑤ 光強/能量值:
4'': ＞100mw@365nm 25A
6'': ＞ 50mw@365nm 25A
8'': 25-50mw@365nm 25A
⑥ 平行半角:
4'': ≤1.8°
6'': ≤1.3°
8'': ≤1.2°-2°
⑦ 工作距離: 100-350nm
⑧ 水冷方式
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